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精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)
XYR直驅(qū)精密對(duì)位平臺(tái)
所屬類別：精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)
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詳細(xì)內(nèi)容
產(chǎn)品介紹：
三軸精密直驅(qū)精密對(duì)位平臺(tái)
采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
全閉環(huán)機(jī)構(gòu),操作簡單，可靠性遠(yuǎn)高于通過擬合運(yùn)動(dòng)的直線對(duì)位平臺(tái)
主要參數(shù)：
|
XY有效行程 |
±110mm |
|
R軸有效形成 |
±5° |
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XY軸分辨率 |
0.5um |
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XY軸最小步長 |
1um |
|
R軸分辨率 |
1.5sec |
|
R軸重復(fù)定位精度 |
≤±5sec |
外形尺寸：
無需算法控制，XYR直接調(diào)節(jié)
使用壽命高達(dá)：3年
上一個(gè)：HC-XY二維直線平移臺(tái)
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